| 技术参数 |
Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q |
| 测量原理 |
电感式 |
| 测量范围 |
400μm |
| 针尖半径 |
5μm |
| 针尖材料 | 金刚石 |
| 触针测力 | 4mN |
| 触针角度 |
90° |
| 导头纵向半径 |
45mm |
| 最大驱动行程 | 19mm |
| 量程 |
±25μm、±200μm |
| 分辨力 | 0.001μm、0.008μm |
| 滤波方式 |
GAUSS、2RC、ISO13565 |
| 取样长度 |
0.25mm、0.8mm、2.5mm、自动 |
| 评定长度 |
1L~5L(可选,L为取样长度) |
| 示值误差 |
±10% |
| 示值重复性 |
≤6% |
| 工作环境温度 |
0ºC~40ºC |
|
外型尺寸及重量 |
主机:155.4mm×75mm×53mm,约580g、驱动器:120.5mm×25.5mm×28.5mm,约165g |
|
电源 |
内置电池:锂离子充电电池; 电源适配器:输入:100V240VAC,50/60Hz; 输出:9V,3A。 |
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